NGK Megcon Co2 bubbler

超纯水防静电系统（MEGCON）

 

“MEGCON Ⅱ+”是控制超纯水电阻率值的设备

通过特殊的中空纤维膜将二氧化碳气体溶解于超纯水中。

 

概述

在半导体产品的精密清洗中，由于使用几乎不含离子成分的超纯水，因此容易产生静电，并发生以下错误而导致产品缺陷。

 

1.基板电路的破坏（ESD损伤）

2.粒子重附着

 

使用MEGCONⅡ+，通过降低超纯水的电阻率值并使其具有导电性，可以防止由静电引起的缺陷。

 

应用

1.切割工序

2.高压喷射清洗

3.洗地机清洁

4.液晶工艺

5.掩膜和光罩清洁

 

特征

颗粒污染风险低，二氧化碳气体消耗量少

小流量也可控制

低压损失

电阻率值自动控制

大流量型号阵容

 

原则

通过特制的中空纤维膜将二氧化碳气体溶解于超纯水中，控制超纯水的电阻率值。